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SURAGUS EddyCus TF inline 在线方阻测试仪
SURAGUS EddyCus TF inline 在线薄膜面电阻和厚度测试仪（方阻测试仪）
TF 系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的薄膜面电阻（方块电阻）及薄膜厚度测量的仪器。
特点
非接触与实时测量
精确测量
高度可变性和灵活性
在真空内-和真空外的解决方案
固定传感器和穿越式解决方案
单线和多线解决方案
高达每秒1000次的高采样率
参数
面电阻（方块电阻）（欧姆/平方）
金属层厚度（nm、μm）
金属基板厚度（μm）
各向异性
缺陷
完整性评定
应用
建筑玻璃（LowE）
触摸屏和平板显示器
OLED和LED应用
智能玻璃的应用
透明防静电铝箔
光伏
半导体
除冰和加热应用
电池和燃料电池
包装材料
材料
金属薄膜和栅格
导电氧化物
纳米线膜
石墨烯、CNT（碳纳米管）、石墨
打印薄膜
导电聚合物（PEDOT:PSS）
其他导电薄膜及材料
规格参数
面电阻（方块电阻）测量技术：非接触式涡流传感器
基板：例如：箔片、玻璃、晶圆，等等
测量间隙尺寸：5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 mm
传感器对数 / 监控线数：1 - 99
传感器尺寸 (W x L x H)：
M 型传感器：80 x 100 x 66 mm
S 型传感器：34 x 48 x 117 mm
导电层：金属/ TCOs/ CNTs/ 纳米线/ 石墨烯/ 栅格/ PEDOT/其它
薄膜面阻的范围：
低 0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 7 % 精确度
标准 0.01 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 7 % 精确度
高 10 - 100,000 Ohm / sq; 3 至 8 % 精确度
金属膜的厚度测量（例如：铝、银、钼、银浆）：2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)
其它集成的测量：金属厚度/光透明性/密度/电性各向异性
环境：在真空外/在真空内 @ T < 60°C / 140°F (根据要求 <90°C / 194°F)
采样率：1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次测量每秒
硬件触发：5, 12, 24 V
界面：UDP、.Net libraries、TCP、Modbus、模拟/数字
SURAGUS EddyCus TF inline 在线薄膜面电阻和厚度测试仪（方阻测试仪）
TF 系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的薄膜面电阻（方块电阻）及薄膜厚度测量的仪器。
特点
非接触与实时测量
精确测量
高度可变性和灵活性
在真空内-和真空外的解决方案
固定传感器和穿越式解决方案
单线和多线解决方案
高达每秒1000次的高采样率
参数
面电阻（方块电阻）（欧姆/平方）
金属层厚度（nm、μm）
金属基板厚度（μm）
各向异性
缺陷
完整性评定
应用
建筑玻璃（LowE）
触摸屏和平板显示器
OLED和LED应用
智能玻璃的应用
透明防静电铝箔
光伏
半导体
除冰和加热应用
电池和燃料电池
包装材料
材料
金属薄膜和栅格
导电氧化物
纳米线膜
石墨烯、CNT（碳纳米管）、石墨
打印薄膜
导电聚合物（PEDOT:PSS）
其他导电薄膜及材料
规格参数
面电阻（方块电阻）测量技术：非接触式涡流传感器
基板：例如：箔片、玻璃、晶圆，等等
测量间隙尺寸：5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 mm
传感器对数 / 监控线数：1 - 99
传感器尺寸 (W x L x H)：
M 型传感器：80 x 100 x 66 mm
S 型传感器：34 x 48 x 117 mm
导电层：金属/ TCOs/ CNTs/ 纳米线/ 石墨烯/ 栅格/ PEDOT/其它
薄膜面阻的范围：
低 0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 7 % 精确度
标准 0.01 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 7 % 精确度
高 10 - 100,000 Ohm / sq; 3 至 8 % 精确度
金属膜的厚度测量（例如：铝、银、钼、银浆）：2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)
其它集成的测量：金属厚度/光透明性/密度/电性各向异性
环境：在真空外/在真空内 @ T < 60°C / 140°F (根据要求 <90°C / 194°F)
采样率：1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次测量每秒
硬件触发：5, 12, 24 V
界面：UDP、.Net libraries、TCP、Modbus、模拟/数字